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![Технология и конструирование интегральных микросхем [Учеб. пособие для вузов по спец. ''Физика и технология материалов и компонентов электрон. техники'' и ''Микроэлектроника и полупроводниковые приборы'']](https://s3proxy.cdn-zlib.se/covers100/collections/genesis/0dfbbdf457ebf01a0dfeaf85164efe3ec9f0b4c340e20623980ab7d1e680ffea.jpg)
